大学プレスリリース2023.10.30
【名城大学】Applied Physics Expressの「Spotlights 2023」に選出 半導体プロセスに導入しやすい加熱・加圧した水を使用して基板からAlGaN半導体層を剥離する技術とメカニズムを解明
名城大学理工学部材料機能工学科の岩谷素顕教授、竹内哲也教授、上山智教授、名城大学理工学部応用化学科の丸山隆浩教授、三重大学大学院工学研究科の三宅秀人教授の研究グループは、高光出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザーを実現するために不可欠である縦型AlGaN系深紫外半導体レーザーの開発に成功。さらに、半導体プロセスに導入しやすい加熱・加圧した水で基板剥離する技術を開発しその基板剥離メカニズムも解明しました。本件は、2023年10月11日に応用物理学会の国際論文誌「Applied Physics Express」に掲載され、同誌の“Spotlights 2023” に選出されました。